美國康寧Corning Tropel Flatmaster 100平面度儀，為精密部件的制造商提供了業界*先的平面度及表面形態測量。通過非接觸式光學測量技術能在很短的時間內記錄下整個表面的數據。
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Flatmaster 100平面度儀提供了五種納米級的解析度和高達50納米的標準精度，能夠快速和準確地對各種表面的平面度、線型、半徑和其他表面參數進行精密測量。
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Tropel Flat master 100平面度儀技術特點及應用領域： |
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? 無接觸和無損傷測量 ? 適用多種類型材料： 半導體，金屬，聚合物，陶瓷，玻璃和其它材料 ? 適用多種類型晶片： 硅/藍寶石/碳化硅/砷化鎵/石英/鍺/鈮酸鋰 ? 適用多種類型表面： 研磨表面，拋光面、光滑面 |
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可測量多種指標 |
完整的分析系統 |
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● 厚度 ● TTV ● SORI ● LTV ● LDOF ● 壓力 |
● 翹曲度 ● 彎曲度 ● 平坦度 ● 平面度 ● 線輪廓 ● 表面輪廓 |
● 三維 ● 拓撲 ● 合格率 ● 分布 ● 二維環形 ● 半徑切面 |
● 平面 ● 球面 ● 錐形匹配 ● 局部平面度分析 ● 斜度 |
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技術參數： |
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? 精度：50nm （2.0μ″） ? 重復性：15 nm（0.6μ″）（1 sigma） ? 分辨率：5nm （0.2μ″） ? 可測量工件尺寸：25mm-100mm（更小工件也可提供） ? 動態測量范圍：>100um ? 測量數據點：230,000 / measurement ? 測量時間：5秒 ? 電源： ～220V 50Hz |
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Flatmaster 200美國康寧平面度儀
Flatmaster 40美國康寧平面度測量系統
